离子束加工的基本原理
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面。
离子束的加工装置主要由电子枪 真空系统 控制系统 电源系统等四部分所组成。
离子束加工的特点
1、是一种精密微细的加工方法。
2、非接触式加工，不会产生应力和变形。
3、加工速度很快，能量使用率可高达90％。
4、加工过程可自动化。
5、在真空腔中进行，污染少，材料加工表面不氧化。
6、离子束加工需要一整套专用设备和真空系统，价格较贵。
7、由于离子束流密度及离子的能量可以精确控制，因而能控制加工效果。
8、加工应力小。变形微小，对材料适应性强。
9、由于加工在较高真空度中进行，故产生污污染少，特别适于加工易氧化的材料
离子束工加工的应用
1、蚀刻加工：
离子蚀刻用于加工陀螺仪空气轴承和动压马达上的沟槽，分辨率高，精度、重复一致性好。
离子束蚀刻应用的另一个方面是蚀刻高精度图形，如集成电路、光电器件和光集成器件等征电子学构件。
太阳能电池表面具有非反射纹理表面。
离子束蚀刻还应用于减薄材料，制作穿透式电子显微镜试片。
2、离子束镀膜加工：
离子束镀膜加工有溅射沉积和离子镀两种形式。
离子镀可镀材料范围广泛，不论金属、非金属表面上均可镀制金属或非金属薄膜，各种合金、化合物、或某些合成材料、半导体材料、高熔点材料亦均可镀覆。
离子束镀膜技术可用于镀制润滑膜、耐热膜、耐磨膜、装饰膜和电气膜等。
离子束装饰膜。
离子束镀膜代替镀铬硬膜，可减少镀铬公害。
提高刀具的寿命。
