气相沉积技术 2012/1/12 作者:未知 来源:网络文摘 阅读：391 气相沉积技术是利用气相中发生物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合笏涂屋。按沉积的主要属性可分为化学气体沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD），等离子体被引入化学气体沉积技术后，便形成等离子化学气相沉积（PCVD） 气相沉积在工件表面覆盖一层厚度为0.5-10um的过渡族元素（Ti,V,Cr,W,Nb等)的碳、氧、氮、硼化合物或单一的金属及非金属涂层。
