80水合抛光
水合抛光法是一种利用在工件界面上生成水合化学反应的研磨方法,其主要特点是不使用磨粒和加工液,而加工装置又与当前使用的研磨盘或抛光机相似,只是在水蒸气环境中进行加工。因此,要极力避免使用能与工件产生固相反应的材料作研具。
81悬浮抛光
悬浮抛光技术旨在进行电子材料无畸变的超精密加工而开发的,是应用于高密度磁性薄膜及磁性材料加工的唯一途径。悬浮抛光加工具有以下特点:研具平面可采用超精密金刚石切削;有极高的平面度、最光滑的表面和无加工变质层的表面;加工面无污染;生产效率高;操作简单,易于生产管理。
82激光打孔
激光打孔是基于聚焦后的激光具有极高的功率密度而使工件材料瞬时气化蚀除。许多高精尖产品的关键零部件都设计有许多微小孔。微小孔的优质、高效、低成本加工已成为现代制造技术的关键问题之一。激光打孔是激光加工的主要应用领域之一,主要用于小孔、窄缝的微细加工。目前已应用于火箭发动机和柴油机的燃料喷嘴、飞机机翼、航空发动机燃烧室、涡轮叶片、化学纤维喷丝板、宝石轴承、印刷电路板、过滤器、金刚石拉丝模、硬质合金、不锈钢等金属和非金属材料小孔的加工。另外已成功地用于集成电路陶瓷衬套和手术针的小孔加工。激光打孔主要特点是:1)可加工精度高、深径比大的微小孔。2)能加工小至几微米的小孔,而一般机械加工钻孔只能加工直径大于几十微米的孔。3)可加工各种异型孔。4)能在所有金属和非金属材料上打孔。5)容易实现自动化,加工效率高。
83激光切割
激光切割的原理和激光打孔原理基本相同,都是基于聚焦后的激光具有极高的功率密度而使工件材料瞬时气化蚀除。所不同的是工件与激光束要相对移动,一般都是移动工件。激光切割可分为脉冲激光切割和连续激光切割两大类。脉冲激光适用于切割金属材料,连续激光切割适用于非金属材料切割。与传统切割方法相比,激光切割具有下列特征:1)激光束聚焦后功率密度高,能够切割任何难加工的高熔点材料、耐高温材料和硬脆材料等。2)切割精度高。3)非接触切割,被切割工件不受机械作用力、变形极小。适宜于切割玻璃、陶瓷和半导体等硬脆材料及蜂窝结构和薄板等刚性差的零件。4)切割速度高。5)切割的深度大。6)切口质量优良。7)可与计算机数控技术结合,实现加工过程自动化,改善劳动条件。
84激光焊接
激光焊接与激光打孔的原理稍有不同,焊接时不需要很高的能量密度使工件材料气化蚀除,而只是将工件的加工区“烧熔”,使其粘合在一起。因此激光焊接所需的能量密度较低。激光焊接有如下优点:1)激光照射时间短,焊接过程极为迅速。2)具有熔化净化效应,能纯净焊缝金属。3)激光能量密度高,对高熔点、高导热率材料的焊接特别有利。4)激光可透过透明体进行焊接,以防止杂质污染和腐蚀,适宜于精密仪表和真空仪器元件的焊接。5)能以简单的措施实现光束偏转,比电子束更适用于焊接复杂零件。目前,在航空航天工业中,激光焊接广泛应用于涡轮发动机叶片、火箭壳体的加强筋、导弹发射架、仪器壳体等零部件。在汽车工业中已有许多零部件,如齿轮箱、汽车底盘、车轮钢圈采用全自动激光焊接生产线焊接。在电子和微电子工业中,激光焊接已广泛应用于仪表和电器,如仪表壳体、显橡管、微电机齿轮轴、微型接插件、测量仪器的弹簧、军用锂电池、微型雷管和热敏元件。激光焊接还广泛用于导线连接,能有效地焊接绝缘线而无需预先剥除绝缘层。
85激光热处理
激光热处理是利用大功率连续波激光器对材料表面进行激光扫描,使金属表层材料产生相变甚至熔化。随着激光束离开工件表面,工件表面的热量迅速向内部传递而形成极高的冷却速度,使表面硬化,从而提高零件表面的耐磨性、耐腐蚀性和疲劳强度。激光热处理采用的激光器有CO2激光器和YAG激光器。激光热处理有多种形式,如激光相变硬化、激光表面合金化、激光非晶化等,其中以激光相变硬化和激光表面合金化应用最为广泛。
86电子束焊接
电子束焊接是电子束加工中开发较早且应用较广的技术。电子束焊接是通过材料的熔融和气化使材料牢固地结合。由于电子束的能量密度高,焊接速度快,所以电子束焊接的焊缝深而窄,焊接热影响区小、变形小。电子束焊一般不用焊条,焊接过程在真空中进行,因此焊缝化学成分纯净,焊接接头的强度往往高于母材。电子束焊接可应用在核反应堆和火箭技术上,来解决高熔点金属和活泼金属及其合金的焊接。在电气技术中对极薄薄膜的精密焊接,将极细的金属丝连接于正确的位置上,或是将薄膜连结于厚钢板上等这些技术要求,采用电子束焊接特别容易解决。另外,在某些有特殊要求的结构中采用电子束穿透焊,在穿透时熔融材料的强度不变。
87电子束光刻
用低功率密度的电子束照射工件表面虽不能引起表面的温升,但入射电子与高分子材料的碰撞,会导致它们的分子链的切断或重新聚合,从而使高分子材料的化学性质和分子量产生变化,这种现象叫电子束的化学效应,也称为电子束曝光。利用这种效应进行加工的方法叫电子束光刻。
88离子镀覆
离子镀覆是将一定能量的离子束轰击某种材料制成的靶,离子将靶材粒子击出,使其镀覆到靶材附近的工件表面上。离子镀所利用的也是溅射效应,但是目的不是加工而是镀膜,以改善工件材料表面的性能。镀覆时将镀膜材料置于靶上,一般使靶面与离子束方向成一角度接受离子束的轰击,被镀工件表面应与溅射粒子运动方向相垂直。离子镀的膜层附着力强,镀层组织致密,可镀材料广泛,各种金属、半导体、高熔点材料和某些合成材料均可镀覆。离子镀工艺用于对工件表面镀覆耐磨材料、抗腐蚀材料、耐热材料、润滑材料以及镀覆装饰膜层等。
89离子注入
用离子束轰击工件表面,使离子钻入被加工材料表面层,以改变表面层性能的方法称为离子注入。离子注入技术主要应用在半导体参杂方面,即把磷或硼等“杂质”注入单晶硅中规定的区域及深度后,可以得到不同导电型的P型或N型和制造P-N结。也可以用来制造一些通常用热扩散难以获得的各种特殊要求的半导体器件。离子注入的优点在于注入元素数量和注入深度可以精确控制,注入元素的选配不受限制,注入元素的数量也不受材料溶解度的限制,注入工件表面元素的均匀性好、纯度高,注入元素不受温度限制。但是,离子注入设备昂贵、成本高、生产率低,而且还要求较高的安全性、可靠性。因此,在使用价值很高的半导体器件方面宜采用离子注入技术。
90离子刻蚀加工
离子刻蚀加工是通过撞击从工件上去除材料的过程。当离子束轰击工件,入射离子的动能传递到靶原子,传递的能量超过原子间的键合力时,靶原子就从工件表面溅射出来,达到刻蚀的目的。为了避免入射离子与工件材料发生化学反应,必须用惰性元素的离子,氩气的原子序数高,而且价格便宜,所以通常用氩离子进行轰击刻蚀。离子束刻蚀可以加工任何材料,如金属、半导体、橡胶、塑料、陶瓷等。由于离子刻蚀是在真空中进行的,所以对被加工材料的污染少。此外,被加工表面无应力,并且可以消除普通方法抛光产生的表面应力。
91机械复合加工
机械复合加工以常规机械加工(切削和磨料加工)为主,辅助其他加工方法,应用机械、化学、光学、电力、磁力、流体力学和声波等多种能量进行综合加工。这类复合加工中主要有机械—超声、机械—激光、机械—磁力、机械—化学、机械—超声—电火花、机械—电化学—电火花等多种组合方式,相应形成了电解在线修整磨削、磁力研磨、机械化学研磨和抛光、超声电火花磨削以及电解电火花磨削等复合加工工艺。
92加热切削
加热切削方法是在机械加工过程中引入热能的复合加工方法。在切削或磨削过程中,用热源加热工件的待加工区,以改善材料的切削加工性,使难加工材料的切削得以顺利进行。利用加热切削法,不但可减小切削力,提高切削速度,减少刀具磨损,而且还可以降低表面粗糙度,提高加工表面的质量。加热切削的热源种类很多,其中通电加热、焊炬加热、整体加热、火焰和感应局部加热及导电加热,通称为一般热源。但这些热源都存在加热区过大、热效率低、温控困难、加工质量难以保证等问题,使加热切削不理想,因而难以应用到生产实际中去。此外,还有等离子弧和激光束热源。目前,加热切削的加热方式主要有用于毛坯预加工的整体加热和用于粗加工的等离子弧感应加热,以及用于半精加工和精加工的导电加热和激光加热。
93超声电火花磨削
超声电火花磨削是超声加工和电火花加工同时作用于磨削过程的复合加工方法。这种方法仅仅适用于导电材料加工,采用超声电火花磨削时,磨削抗力的变化与其他加工方法大不相同。随着磨削距离增加,普通磨削时,磨削抗力急剧上升,很快使砂轮失效;电火花磨削或超声磨削时,磨削抗力上升的幅度有所降低;而超声电火花磨削加工时,磨削抗力增加极小。由于超声电火花磨削的磨削抗力明显减小,砂轮锋利度保持性好,从而发挥出极好的磨削效果。超声电火花磨削法最适宜于各种导电性陶瓷材料和超硬材料的磨削加工。
94电解电火花机械磨削
电解电火花机械磨削方法的技术关键是使用外圈上均匀分布着8~16个导电区的特制树脂结合剂砂轮,在特殊导电砂轮和被加工零件之间施加25~30V的直流电压,并注入具有导电性的低浓度电解液作为磨削液,使砂轮在进行机械磨削的同时,还通过电脉冲进行电解、电火花加工。对于非导电材料,在磨削区附近设置了电极,甚至以喷嘴作为电极,通过电解液形成电解和放电回路。在电解电火花机械磨削加工过程中,磨削、电解、电火花放电三者共同作用,大大提高了加工效率和极大改善了加工表面质量。
95电化学复合加工
电化学复合加工以电化学加工为主,辅助其它加工方法,应用机械、电力、磁力、流体力学和声波等多种能量进行综合加工。这类复合加工中主要有:电化学---机械、电化学---电火花、电化学---电弧、电化学---超声、电化学---磁力、电化学---机械超声等多种组合方式 ,其中电化学的阳极溶解作用和硬质刀具或磨料的机械作用结合起来形成的复合加工工艺包括电解钻孔、电解铣削、电解磨削、电解珩磨、电解研磨和抛光等。此外,与其他加工方法组合形成的复合加工工艺还包括电解电火花加工、电解电弧加工、电解超声加工、磁场电化学加工以及电解超声磨削等。
96电解磨削
电解磨削是靠阳极金属电化学腐蚀作用和机械磨削作用相结合进行加工的,比电解加工有更好的加工精度和表面质量,比机械磨削有更高的生产率。与普通机械磨削相比,电解磨削的特点为:(1)加工范围广,加工效率高。(2)磨削力小,磨削热很少,消耗功率也小,不会产生磨削烧伤、裂纹和毛刺,能获得比电解加工更高的加工精度和更好的表面质量。(3)砂轮磨损量小,电解磨削硬质合金时金刚石砂轮的损耗速度仅为普通磨削的1/10~1/5,可显著降低加工成本。电解磨削所存在的主要问题是需要增加一些辅助设备(如直流电源、电解液循环过滤系统等);另外,机床还应有防腐措施及防护和抽风吸雾装置。电解磨削可用于磨削外圆、内圆、平面及成形表面。目前,电解磨削主要用来磨削一些高硬度的零件,如硬质合金刀具、量具、挤压拉丝模、轧辊等。此外,电解磨削还适宜于加工易产生硬化现象及热敏感性材料的零件。
97电解电火花加工
电解电火花复合加工是电化学腐蚀作用和电火花蚀除作用同时进行的加工方法。加工过程中电极(工件阳极和工具阴极)对接低压直流电源,以实现电解加工,同时由脉冲发生器供给脉冲电压,以保证电火花作用。在电解液中,去除金属是阳极电化学溶解和电火花蚀除综合作用的结果。应用电解电火花复合加工金属合金等导电材料时,合理选择工艺参数可使其达到加工效率高、表面质量好、电极损耗小以及加工精度好的工艺效果。由于电解电火花复合加工与通常的电加工一样,不受工件材料强度、硬度等物理机械性能的影响,并可加工传统机械加工方法无法获得的异形孔及复杂形状零件,因此,这一加工方法将在非导电超硬及硬脆材料的加工中发挥重要作用。
98电解超声加工
电解超声加工是把电化学阳极溶解与超声振动磨粒的机械作用结合起来的复合加工方法。工作时,工件接正极,工具接负极,电解液中加入一定比例微小磨粒形成悬浮液,工具电极的超声波振动供给微小磨粒的动能。加工时,被加工表面在电解液中产生阳极溶解,电解产物阳极钝化膜被超声振动的工具和磨粒刮除。超声振动引起的空化作用加速了钝化膜的破坏和含磨粒电解液的循环更新,促使阳极溶解过程的进行,从而大大提高加工速度和质量。采用超声电解复合加工比单纯用超声波加工难加工材料时加工速度高,工具损耗小。
99电解超声磨削
电解超声磨削是在电解磨削的基础上,引入超声振动,以超声频振动的工具(砂轮)破坏电解产物阳极钝化膜,同时超声振动引起的空化作用加速了钝化膜的破坏和电解液的循环,促进了阳极熔解过程的进行。从而可以大大提高加工速度和改善加工表面质量。