抛光机磨削后的工件，表面粗糙度Ra不大于0.01μm，光如镜面，可以清晰成像，故称镜面抛光机磨削。
抛光机磨削圆柱面的圆度不大于0.5μm，直线度不大于1μm/300mm，抛光机磨削平面的平面度不大于3μm/1000mm。
镜面抛光机磨削主要用于加工精密轧辊、精密线纹尺等要特别光洁的精密零件的外圆或平面。
镜面抛光机磨削用的磨床要具备以下条件：
有很高的精度
刚度并采取减振措施；
砂轮主轴的旋转精度高于1μm；
砂轮架相对工作台的振幅小于1μm；
横向进给机构能精确微动；
工作台在低速运动时无爬行现象。
镜面抛光机磨削时，先采用粒度60号以内的陶瓷结合剂砂轮，经精细修整，使砂轮表面的有效磨粒形成许多等高的半钝态微刃，抛光机磨削时只切下微细的磨屑，并有适当的摩擦抛光作用，表面粗糙度达到Ra0.08～0.04μm，这是超精抛光机磨削阶段。
然后再用微粉磨料(W14～W5)、树脂结合剂和石墨填料做成的砂轮，经过精细修整，在适当的抛光机磨削压力下进行镜面抛光机磨削 经过一定时间的摩擦抛光作用，最后达到表面粗糙度Ra不大于0.01μm的镜面。镜面抛光机磨削的抛光机磨削用量较小，
例如抛光机磨削外圆时，砂轮速度为15～20m/s，工件速度小于10m/min，工作台进给速度为50～100mm/min，横向进给抛光机磨削深度为3～5μm，然后作无进给的光磨20～30次。抛光机磨削时，切削液要充分，并有良好的过滤装置，以防划伤工件表面。砂轮修整需用锋利的单颗粒金刚石，修整时，工作台速度为6～10mm/min，横向进给2～4次，每次切深2～3μm，再无进给光修一次。以上为能达到最小表面粗糙度的抛光机磨削方法。
